离子束抛光机IFS300A
离子束抛光机IFS300A技术参数
名称 |
参数 |
加工能力 |
300mm×300mm |
可加工面形 |
平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面等 |
可加工材料 |
石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等 |
可加工精度 |
亚纳米加工精度、可实现面形RMS<1nm超高精度加工 |
X轴行程 |
≥300mm |
Y轴行程 |
≥300mm |
Z轴行程 |
≥300mm |
离子源 |
美国Veeco HC 5cm / 德国射频离子源 |
中和器 |
美国 Veeco HCN / 德国 |
工作真空建立时间 |
≤1 hours |
副室真空建立时间 |
≤15 min |
X轴最大运动速度 |
5m/min |
Y轴最大运动速度 |
5m/min |
Z轴最大运动速度 |
3m/min |
运动轴重复定位精度 |
≤±0.01mm |
保护功能 |
具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等 |
智能功能 |
具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能。 |
外形尺寸 |
长宽高:2.5x2.5x2.1m |
整机重量 |
4吨 |
能耗功率 |
Max:12KW Avg:5KW |
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离子束抛光机IFS1000-600B
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