离子束抛光机IFS300A

产品型号：

IFS300A

保护功能：具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等
公司研发团队在非球面超精密抛光加工方面具有20年的工艺开发和设备研制经验,秉承“诚信、创新、合作、共赢”的经营理念，与客户共创未来。

关键词：

离子束抛光离子束抛光机

所属分类：

离子束抛光机

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离子束抛光机IFS300A

_{离子束抛光机IFS300A技术参数}

名称	参数
加工能力（最大工件尺寸）	300mm×300mm 厚度100mm
可加工面形	平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面等
可加工材料	石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等
可加工精度	亚纳米加工精度、可实现面形RMS＜1nm超高精度加工
X轴行程	≥300mm
Y轴行程	≥300mm
Z轴行程	≥300mm
离子源	美国Veeco HC 5cm / 德国射频离子源
中和器	美国 Veeco HCN / 德国
工作真空建立时间	≤1 hours
副室真空建立时间	≤15 min
X轴最大运动速度	5m/min
Y轴最大运动速度	5m/min
Z轴最大运动速度	3m/min
运动轴重复定位精度	≤±0.01mm
保护功能	具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等
智能功能	具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能。
外形尺寸	长宽高：2.5x2.5x2.1m
整机重量	4吨
能耗功率	Max:12KW Avg:5KW