技术支持
离子束抛光机加工优势:
1、可实现面型RMS<1nm,PV<10 nm高精度抛光加工能力(1λ=632nm),粗糙度不改变。
2、可加工的光学元器件形状有:平面、球面、非球面、自由曲面、离轴非球面、椭圆、柱面镜、棱镜或锥透镜,可按客户需求定制;
3、加工采用非接触式加工 ,无边缘效应;
4、可加工材料,可加工所有光学元器件材料,如各种光学玻璃、石英玻璃、微晶、超低膨胀玻璃(ULE)、KDP晶体、蓝宝石、硅、碳化硅,红外材料等;
5、控制程序高度集成化、智能化,具备极高的稳定性。
6、设备由主副真空室构成,以减少工件更换使用时间,提升加工效率。
7、离子束输出束斑口径分档可调,可实现1-50mm不同束径变换。
埃福思科技公司离子束抛光机的特色与创新
埃福思科技离子束抛光机采用创新设计的双室结构与卧式加工方案、配置高性能的美国Veeco公司原装离子源系统、高动态特性运动系统、和功能强大的工艺计算与控制软件。因此,埃福思离子束抛光机具有先进的高性能高可靠性,具备换件效率高、束流可调范围大、长时稳定加工、操作方便智能、加工精度高等优点。
1)创新设计的双室结构与加工方案
高性能伺服运动轴传送工件,高效率、高可靠性;
卧式加工布局,有利于工件操作和保护镜面、溅射物不污染离子源、离子源可长期稳定工作。
(申请专利201811261305.2和201821754806.X)
2)高性能离子源系统
美国Veeco公司高性能5cm离子源系统,功能强大且高度集成,集成离子源、中和器、气体流量的控制、集成束流检测;
高功率密度,普通版电压1200V,电流300mA(功率360W);高功率版电压2000V,电流1000mA(功率2000W);
长时稳定工作,离子源极Tip的寿命至少150小时;
束径调节范围大,同时配套5cm和3cm栅网、配套1/5/8/10/15/20/30mm等多种口径的光阑、产生涵盖1~50mm的束径(FWHM)。
3)高动态特性运动系统
X轴和Z轴电机外置,减小真空室内部放气、有利于工艺;
采用高性能伺服电机,高动态特性、高精度。
(申请专利201821753737.0)
4)功能强大的工艺计算与控制软件
软件已使用10余年,已相当成熟和完善,集成了各种算法,比如确定最优加工量的L曲线算法和最优的边缘延拓算法(光滑下降延拓法);
提供加工分析模块,可对加工结果与仿真结果进行对比分析,可以分析出加工中的去除函数误差和定位误差,从而可以提高后续加工的确定性和加工精度;
控制软件高度集成,实现了全数字化监控、各监控系统信息共享;
控制软件高度智能,具备智能一键开机、一键停机、定时开机、定时停机、预约加工、加工保护、远程协助等高级功能。