技术支持
离子束抛光机加工优势：
1、可实现面型RMS＜1nm，PV＜10 nm高精度抛光加工能力（1λ=632nm），粗糙度不改变。
2、可加工的光学元器件形状有：平面、球面、非球面、自由曲面、离轴非球面、椭圆、柱面镜、棱镜或锥透镜，可按客户需求定制；
3、加工采用非接触式加工 ，无边缘效应；
4、可加工材料，可加工所有光学元器件材料，如各种光学玻璃、石英玻璃、微晶、超低膨胀玻璃（ULE）、KDP晶体、蓝宝石、硅、碳化硅，红外材料等；
5、控制程序高度集成化、智能化，具备极高的稳定性。
6、设备由主副真空室构成，以减少工件更换使用时间，提升加工效率。
7、离子束输出束斑口径分档可调，可实现1-50mm不同束径变换。
埃福思科技公司离子束抛光机的特色与创新
埃福思科技离子束抛光机采用创新设计的双室结构与卧式加工方案、配置高性能的美国Veeco公司原装离子源系统、高动态特性运动系统、和功能强大的工艺计算与控制软件。因此，埃福思离子束抛光机具有先进的高性能高可靠性，具备换件效率高、束流可调范围大、长时稳定加工、操作方便智能、加工精度高等优点。
1）创新设计的双室结构与加工方案
高性能伺服运动轴传送工件，高效率、高可靠性；
卧式加工布局，有利于工件操作和保护镜面、溅射物不污染离子源、离子源可长期稳定工作。
（申请专利201811261305.2和201821754806.X）
2）高性能离子源系统
美国Veeco公司高性能5cm离子源系统，功能强大且高度集成，集成离子源、中和器、气体流量的控制、集成束流检测；
高功率密度，普通版电压1200V，电流300mA（功率360W）；高功率版电压2000V，电流1000mA（功率2000W）；
长时稳定工作，离子源极Tip的寿命至少150小时；
束径调节范围大，同时配套5cm和3cm栅网、配套1/5/8/10/15/20/30mm等多种口径的光阑、产生涵盖1~50mm的束径（FWHM）。
3）高动态特性运动系统
X轴和Z轴电机外置，减小真空室内部放气、有利于工艺；
采用高性能伺服电机，高动态特性、高精度。
（申请专利201821753737.0）
4）功能强大的工艺计算与控制软件
软件已使用10余年，已相当成熟和完善，集成了各种算法，比如确定最优加工量的L曲线算法和最优的边缘延拓算法（光滑下降延拓法）；
提供加工分析模块，可对加工结果与仿真结果进行对比分析，可以分析出加工中的去除函数误差和定位误差，从而可以提高后续加工的确定性和加工精度；
控制软件高度集成，实现了全数字化监控、各监控系统信息共享；
控制软件高度智能，具备智能一键开机、一键停机、定时开机、定时停机、预约加工、加工保护、远程协助等高级功能。
