离子束抛光机IFS2000S
产品型号：
ÅFiSy IFS2000S是专用于Φ2米量级光学元件的离子束抛光系统，最大可满口径加工Φ2米、厚度500mm的光学元件，工件采用立式装夹方式，工件装夹系统可承载的工件重量≥2500kg（含镜框），设备可加工材料包括光学材料（微晶玻璃、ULE、融石英、K9）、单晶材料（Si、锗、单晶SiC）、红外材料等，可加工的光学表面包括平面、球面、非球面、自由曲面等，可加工镜面外形包括圆形、椭圆、长方形等，最终面形加工精度优于1/10波长PV，1/100波长RMS（波长取632.8nm），表面粗糙度优于1nmRMS。
关键词：
所属分类：
离子束抛光机
咨询热线：
18974994399
离子束抛光机IFS2000S
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名称 |
参数 |
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加工能力 (最大工件尺寸) |
最大尺寸2000mm×2000mm 最大厚度500mm |
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可加工面形 |
光学表面：平面、球面、非球面、自由曲面； 镜面外形：圆形、椭圆、长方形等 |
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可加工材料 |
光学材料（微晶玻璃、ULE、融石英、K9）、单晶材料（Si、锗、单晶SiC）、红外材料等 |
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可加工精度 |
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X轴行程 |
≥2100mm |
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Y轴行程 |
≥2100mm |
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Z轴行程 |
≥300mm |
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离子源 |
德国射频离子源 |
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中和器 |
德国 |
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工作真空建立时间 |
≤1小时 |
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副室真空建立时间 |
/ |
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保护功能 |
具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等 |
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智能功能 |
具备智能一键开机、一键停机、定时开机、定时停机、预约加工、加工保护、远程协助、日志等高级功能 |
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外形尺寸 |
6.5m×4.0m×3.5m |
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整机重量 |
20吨 |
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能耗功率 |
总功率35kW |
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离子束抛光机ÅFiSy IFS1500I
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