离子束抛光机IFS1300C
离子束抛光机IFS1300C技术参数
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名称 |
参数 |
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加工能力 |
1300mm×1300mm |
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X轴行程 |
≥1300mm |
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Y轴行程 |
≥1300mm |
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Z轴行程 |
≥300mm |
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离子源 |
德国射频离子源 |
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中和器 |
德国 |
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最大束电压 |
2000V |
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最大束电流 |
1000mA |
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束流密度测量 |
法拉第杯/探针 |
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阴极Tip寿命 |
150-1000 hours |
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去除函数 |
高斯型、稳定性≥95% |
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工作真空 |
5×10-3pa |
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工作真空建立时间 |
≤1.5 hours |
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副室真空建立时间 |
≤30 min |
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X轴最大运动速度 |
8m/min |
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Y轴最大运动速度 |
8m/min |
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Z轴最大运动速度 |
5m/min |
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运动轴重复定位精度 |
≤±0.01mm |
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保护功能 |
具备意外断电、断水、断气故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等 |
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智能功能 |
具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能。 |
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外形尺寸 |
长宽高：6×5×3m |
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整机重量 |
15吨 |
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能耗功率 |
Max:26KW Avg:8KW |
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无
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