离子束抛光机ÅFiSy IFS1000B

产品型号：

长沙埃福思科技有限公司的新一代离子束抛光机ÅFiSy IFS1000B具备4轴3联动功能，最大可加工1000×1000mm或Φ1000mm尺寸的工件，具备平面、球面、非球面、离轴面、自由曲面等光学零件的加工能力。
该离子束抛光机主要由真空系统、运动系统、离子源系统、电气控制及软件等组成。其中真空系统由主真空室、副真空室、连接主副、两个真空室的插板阀以及相应的真空泵组组成；运动系统由XYZ运动机构和Z2运动机构组成。离子源安装在主真空室中的XYZ运动机构上，通过数控系统控制可实现对离子源的高精度运动控制。

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离子束抛光离子束抛光机

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离子束抛光机

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离子束抛光机ÅFiSy IFS1000B

名称	参数
加工能力 (最大工件尺寸)	最大尺寸1000mm×1000mm 最大厚度200mm
可加工面形	平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面等
可加工材料	石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等
可加工精度
X轴行程	≥1050mm
Y轴行程	≥1050mm
Z轴行程	≥300mm
离子源	德国射频离子源
中和器	德国
工作真空建立时间	≤1小时
副室真空建立时间	≤15分钟
保护功能	具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等
智能功能	具备智能一键开机、一键停机、定时开机、定时停机、预约加工、加工保护、远程协助、日志等高级功能
外形尺寸	3.2m×3.8m×3.0m
整机重量	10吨
能耗功率	总功率18kW

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