离子束抛光机IFS1000-600B

产品型号：

IFS1000-600B

智能功能：具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能。
公司研发团队在非球面超精密抛光加工方面具有20年的工艺开发和设备研制经验,秉承“诚信、创新、合作、共赢”的经营理念，与客户共创未来。

关键词：

离子束抛光机离子束抛光

所属分类：

离子束抛光机

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离子束抛光机IFS1000-600B

_{离子束抛光机IFS1000-600B技术参数}

名称	参数
加工能力（最大工件尺寸）	1000×600mm，250mm厚
可加工面形	平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面等；
可加工材料	石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等；
加工光学元件精度	亚纳米加工精度、可实现面形RMS＜1nm超高精度加工；
X轴行程	≥1100mm
Y轴行程	≥700mm
Z1轴行程	≥300mm
Z2轴行程	≥300mm
离子源	美国Veeco HC 5cm / 德国射频源
工作真空建立时间	≤1 hours
副室真空建立时间	≤15 min
X轴最大运动速度	5m/min
Y轴最大运动速度	5m/min
Z轴最大运动速度	3m/min
运动轴重复定位精度	≤±0.01mm
保护功能	具备意外断电、断水、断气故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等
智能功能	具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能。
外形尺寸	长宽高：3.8×3.2×2.6m
整机重量	9吨
能耗功率	Max:18KW Avg:7KW