离子束抛光机ÅFiSy IFS500A
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名称 |
参数 |
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加工能力 (最大工件尺寸) |
最大尺寸500mm×500mm 最大厚度80mm |
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可加工面形 |
平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面等 |
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可加工材料 |
石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等 |
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可加工精度 |
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X轴行程 |
≥500mm |
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Y轴行程 |
≥500mm |
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Z轴行程 |
≥500mm |
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离子源 |
德国射频离子源 |
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中和器 |
德国 |
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工作真空建立时间 |
≤1小时 |
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副室真空建立时间 |
≤15分钟 |
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保护功能 |
具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等 |
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智能功能 |
具备智能一键开机、一键停机、定时开机、定时停机、预约加工、加工保护、远程协助、日志等高级功能 |
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外形尺寸 |
2.5m×2.5m×2.5m |
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整机重量 |
5吨 |
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能耗功率 |
Max.12KW, Avg.5kW |
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离子束抛光机ÅFiSy IFS1000-600B
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