离子束抛光机ÅFiSy IFS450
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名称 |
参数 |
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加工能力 (最大工件尺寸) |
最大尺寸500mm×500mm 最大厚度100mm |
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可加工面形 |
平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面等 |
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可加工材料 |
熔石英、金刚石、单晶硅、蓝宝石、碳化硅等 |
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X轴行程 |
500mm |
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Y轴行程 |
500mm |
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Z轴行程 |
450mm |
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离子源 |
德国射频离子源，性能稳定，8小时内材料去除的稳定性优于95% |
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中和器 |
德国 |
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法拉第杯 |
杯口直径：≤1mm |
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水冷光阑罩 |
可更换光阑口径，光阑口径：2、3、5、8、10、12、15、20、30、40 mm等 |
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工作真空建立时间 |
≤1小时 |
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副室真空建立时间 |
≤15分钟 |
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保护功能 |
具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等 |
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智能功能 |
具备智能一键开机、一键停机、定时开机、定时停机、预约加工、加工保护、远程协助、日志等高级功能；具有真空系统参数与状态监控、操作过程控制等功能；具有水电气监控系统的状态显示及控制功能；具有离子源参数设置与监控功能；具有运动系统联动控制与位置反馈功能。 |
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工艺软件 |
可通过干涉仪的测量数据，计算驻留时间、仿真加工过程、预测加工结果、分析加工结果等；可实现原子加工的去除函数建模、面形数据输入（与ZYGO、4D干涉仪数据格式兼容）与处理、手动及自动的加工工艺参数选择和加工路径调整、加工面形精度预测与加工时间预算、生成加工文件等。 |
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外形尺寸 |
2.5m×2.5m×2.5m |
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整机重量 |
5吨 |
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能耗功率 |
Max.12KW, Avg.5kW |
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离子束抛光机ÅFiSy IFS1000-600B
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