离子束抛光机ÅFiSy IFS1500I

产品型号：

大尺寸倒置式离子束抛光机ÅFiSy IFS1500I，采用双真空室设计，3轴3联动，加工元件倒置，主真空室最大元件尺寸达直径1500mm、厚度300mm，副真空室最大元件口径达直径700mm，加工精度RMS优于0.5nm。广泛用于微晶玻璃、熔石英、K9、硅等光学材料的平面、球面、非球面、自由曲面加工，可适用圆形、矩形、椭形等形状工件的加工。

关键词：

离子束抛光离子束抛光机

所属分类：

离子束抛光机

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离子束抛光机ÅFiSy IFS1500I

名称	参数
加工能力 (最大工件尺寸)	最大尺寸1500mmx1500mm 最大厚度300mm
可加工面形	平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面等
可加工材料	石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等
可加工精度	亚纳米加工精度、可实现面形RMS<1nm超高精度加工
X轴行程	≥1600mm
Y轴行程	≥1600mm
Z轴行程	≥300mm
离子源	德国射频离子源
中和器	德国
工作真空建立时间	≤1小时
副室真空建立时间	≤15分钟
保护功能	具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等
智能功能	具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能
外形尺寸	6.4m×3.8m×3.3m
整机重量	16吨
能耗功率	总功率35kW

离子束抛光机IFS2000S

无