埃福思科技新产品:2米大型离子束抛光机ÅFiSy IFS2000S
发布时间:
2025-09-18 09:51
来源:
2米大型离子束抛光机ÅFiSy IFS2000S,单真空室结构,3轴3联动,工件立式安装、离子源卧式安装。最大元件尺寸可达直径2000mm、厚度500mm,可承载工件重量2500kg(含镜框),可加工光学材料(包括微晶玻璃、ULE、融石英、K9)、单晶材料(包括Si、锗、单晶SiC)、红外材料等,可加工平面、球面、非球面、自由曲面等光学表面,可加工圆形、椭圆、长方形等镜面外形。面形加工精度小于1/100λ(RMS),表面粗糙度小于1nm(RMS)。
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