埃福思科技新产品：2米大型离子束抛光机ÅFiSy IFS2000S
发布时间：
2025-09-18 09:51
来源：
2米大型离子束抛光机ÅFiSy IFS2000S，单真空室结构，3轴3联动，工件立式安装、离子源卧式安装。最大元件尺寸可达直径2000mm、厚度500mm，可承载工件重量2500kg（含镜框），可加工光学材料（包括微晶玻璃、ULE、融石英、K9）、单晶材料（包括Si、锗、单晶SiC）、红外材料等，可加工平面、球面、非球面、自由曲面等光学表面，可加工圆形、椭圆、长方形等镜面外形。面形加工精度小于1/100λ（RMS），表面粗糙度小于1nm（RMS）。
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