大尺寸倒置式离子束抛光机ÅFiSy IFS1500I
发布时间：
2025-09-18 09:49
来源：
大尺寸倒置式离子束抛光机ÅFiSy IFS1500I，采用双真空室设计，3轴3联动，加工元件倒置，主真空室最大元件尺寸达直径1500mm、厚度300mm，副真空室最大元件口径达直径700mm，加工精度RMS优于0.5nm。广泛用于微晶玻璃、熔石英、K9、硅等光学材料的平面、球面、非球面、自由曲面加工，可适用圆形、矩形、椭形等形状工件的加工。
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