离子束抛光机IFS300A
产品型号：
1
畅销的离子束抛光机
双真空室，快速更换工件，离子束抛光生产效率高。
集成法拉第杯和三坐标测头，法拉第杯测量离子束空间位置及分布，三坐标侧头测量工件空间位置及姿态，从而建立精准加工坐标系，实现高确定性、高精度的离子束抛光，有效消除中高频误差。
工件侧立式装夹，离子束抛光操作方便、可靠、稳定。
无线操作手柄，
离子束抛光控制软件高度集成、智能；离子束抛光保护措施完善，具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等。
双真空室，快速更换工件，离子束抛光生产效率高。
集成法拉第杯和三坐标测头，法拉第杯测量离子束空间位置及分布，三坐标侧头测量工件空间位置及姿态，从而建立精准加工坐标系，实现高确定性、高精度的离子束抛光，有效消除中高频误差。
工件侧立式装夹，离子束抛光操作方便、可靠、稳定。
无线操作手柄，
离子束抛光控制软件高度集成、智能；离子束抛光保护措施完善，具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等。
关键词：
离子束抛光
离子束抛光机
所属分类：
离子束抛光机
咨询热线：
15364096576
离子束抛光机IFS300A
离子束抛光机IFS300A技术参数
|
名称 |
参数 |
|
加工能力 |
300mm×300mm |
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可加工面形 |
平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面等 |
|
可加工材料 |
石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等 |
|
可加工精度 |
亚纳米加工精度、可实现面形RMS＜1nm超高精度加工 |
|
X轴行程 |
≥300mm |
|
Y轴行程 |
≥300mm |
|
Z轴行程 |
≥300mm |
|
离子源 |
美国Veeco HC 5cm / 德国射频离子源 |
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中和器 |
美国 Veeco HCN / 德国 |
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工作真空建立时间 |
≤1 hours |
|
副室真空建立时间 |
≤15 min |
|
X轴最大运动速度 |
5m/min |
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Y轴最大运动速度 |
5m/min |
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Z轴最大运动速度 |
3m/min |
|
运动轴重复定位精度 |
≤±0.01mm |
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保护功能 |
具备意外断电、断水、断气等故障报警保护、运动系统故障保护、离子源故障保护等 |
|
智能功能 |
具备智能一键开机、一键停机、定时预约加工、远程控制、日志等功能。 |
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外形尺寸 |
长宽高：2.5x2.5x2.1m |
|
整机重量 |
4吨 |
|
能耗功率 |
Max:12KW Avg:5KW |
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离子束抛光机IFS1000-600B
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